中国科学院光电技术研究所

本发明公开了一种适用于Liftoff剥离工艺的电子束蒸镀金薄膜方法，采用规格小于电子束蒸发设备标准坩埚位的小坩埚进行蒸镀操作，所述小坩埚的容积为对应标准坩埚容积的1/3‑5/6。采用小规格坩埚，坩埚体积小、热容量低，电子束输入的能量能够快速集中于坩埚内的金原料，使金原料能够快速达到蒸发温度并形成稳定的蒸发气流，并能够在较低的电子束蒸发功率下达到高的蒸镀速率，使蒸镀速率能够达到现有工艺的10‑20倍，大大缩短了蒸镀所需的时间，提高了生产效率，且能够显著减小对芯片的持续热输入，减小了对光刻胶性能的影响，方便后续的光刻胶剥离操作。

本发明公开了动力学驱动的光电跟踪系统半物理仿真以及闭环测试方法，属于光电跟踪控制与测试仿真技术领域，该方法包括：采用支持虚实融合的宽视角视频流作为场景输入，实时解算视频流中目标特征与脱靶量，发送至真实嵌入式控制器；执行多维协同控制逻辑，解算并输出伺服电机、音圈电机及压电快反镜的组合驱动指令；仿真主机接收驱动指令，驱动建立在虚拟环境中的粗精复合动力学模型，并结合光路耦合原理计算系统总视轴指向；依据视轴运动对宽视角视频流进行动态裁切与像素映射，生成等效小视场闭环图像。本发明能够在实验室内高保真地复现光电跟踪系统的复杂动力学行为，实现了从图像处理、实时控制量输出到光机动力学响应的全链路闭环验证。

本发明公开了一种用于微纳米级实时运动控制的控制系统架构，包括功能模块和系统总线；系统总线包括信令/状态总线、数据交换总线和伺服同步中断总线；信令/状态总线用于系统配置的下发以及系统状态信息的上报；数据交换总线用于系统实时数据的接收与发送；伺服同步中断总线用于系统控制周期的定时中断，实现以直接中断的方式传输定时信息。本发明采用信令/状态总线、数据交换总线架构，并简化伺服同步机制，裁剪了冗余功能，简化了系统底层设计，提升了关键节点的处理性能，实现了更高的伺服中断周期，使系统架构能够应用于更精密的实时运动控制。

本发明公开了一种基于激光后向散射强度分布的校轴方法以及复合探测系统。复合探测系统包括激光探测通路、红外和/或可见光探测通路以及数据处理器，激光探测通路包括激光阵列探测器、激光动反射镜。该校轴方法包括：发射步骤，通过激光探测通路向待探测空间发射激光束；接收步骤，激光阵列探测器探测激光束传输时产生的后向散射光以获得后向散射光强度；获得步骤，数据处理器根据后向散射光强度的分布获得激光发射轴和激光接收轴之间的光轴偏差，从而获得激光动反射镜的调节量；校正步骤，基于调节量调整激光动反射镜以校正光轴偏差，从而同时实现激光发射轴与激光接收轴、红外和/或可见光探测通路的光轴的校准。

本申请提供一种激光雷达系统、无人机，涉及激光雷达与光电探测技术领域。该激光雷达系统包括：激光发射单元、时间透镜单元和信号处理单元；激光发射单元用于向时间透镜单元发射连续激光信号；时间透镜单元用于对连续激光信号进行幅相联合调制并在时域聚焦，生成调制信号；其中，调制信号为时域非均匀排布的聚焦脉冲序列；信号处理单元用于基于调制信号，对待检测目标进行扫描，获得扫描结果；其中，扫描结果用于对待检测目标进行测距。本申请通过能够实现幅相联合调制的时间透镜，同时对光场进行幅相联合调制，实现测距精度与最大无模糊距离的解耦，在能拓展最大无模糊距离的基础上，也能提高测距精度。

本发明提供了一种基于棱锥波前传感器的大气湍流分层探测方法，涉及大气探测与自适应光学技术领域，该方法包括：接收单个导星方向的入射光束，并使入射光束经过棱锥波前传感器作用后形成包含大气湍流扰动信息的探测信号；定时移动棱锥波前传感器后端探测器位置，通过分时共轭在多个共轭高度下采集得到探测图像序列；建立多个共轭高度下的探测图像序列与不同高度湍流层参数间的映射关系；根据多个共轭高度下的探测图像序列，对大气湍流进行分层参数反演。本发明能够降低对多导星构型和多传感器配置的依赖，提高大气湍流分层测量的层向分辨能力，并实现对大气湍流廓线及风场信息的综合探测。

本发明公开一种基于聚合物纳米复合材料的微纳结构复合衍射透镜及其制备工艺和宽波段高效成像系统，属于微纳光学与衍射光学技术领域。所述基于聚合物纳米复合材料的微纳结构复合衍射透镜包括聚合物纳米复合镜基材料层和双层复合结构，双层复合结构包括亚波长微纳衍射结构层和填充层；亚波长微纳衍射结构层设置于聚合物纳米复合镜基材料层的表面，填充层设置于亚波长微纳衍射结构层的沟槽内。本发明通过“性能‑材料‑结构协同设计”方法，实现折射率差与波长成正比（Δn(λ)∝λ）的设计准则，提高了可见光波段（400‑800 nm）平均衍射效率（≥90%），显著优于现有技术。

本发明公开了一种图形化掩模的制备方法，制备剥离图形膜层；在源基板的顶部从下至上依次设置剥离功能层和剥离硬掩模图形层。将剥离硬掩模图形层转印复制至目标基板，首先，将源基板上的剥离硬掩模图形层转移至第一临时基板的粘附层上；将第一临时基板上的剥离硬掩模图形层转印至第二临时基板的粘附层上；将第二临时基板上的剥离硬掩模图形层转印至目标基板上；此时剥离硬掩模图形层的图案与曝光掩模的图案一致。目标基板制备掩模图形；采用高功率等离子体刻蚀，将目标基板顶部裸露的金属层刻蚀去除；然后，清洗去除目标基板上的剥离硬掩模图形层。本发明具有工艺兼容性高的优点，可以实现批量化在目标基板上制备掩模图形，显著提高了工作效率，具有较好的实用性。

本申请提供一种无源光网络传输方法及无源光网络系统，涉及无源光网络技术领域，无源光网络系统包括光线路终端、光分布网络和多个光网络单元；光分布网络通过自由空间信道分别与多个光网络单元连接；所述方法包括：光线路终端将第一待发送光信号发送至光分布网络；光分布网络将第一待发送光信号转换为第一矢量光，并通过自由空间信道将第一矢量光发送至光网络单元；光网络单元根据第一矢量光得到下行数据；所述方法还包括：光网络单元将第二矢量光通过自由空间信道发送至光分布网络；光分布网络将待处理光信号发送至光线路终端；光线路终端根据待处理光信号得到上行数据，如此，可以避免无源光网络对光纤基础设施的依赖，降低系统成本。

本申请提供一种时间透镜扫描系统、参数优化方法，涉及超快光学与光电信号处理技术领域。该系统包括：激光发射单元、时间透镜单元和信号处理单元；激光发射单元用于向时间透镜单元发射连续激光信号；时间透镜单元用于对连续激光信号施加复合时间相位调制和色散传播，生成主瓣压缩的时域超振荡聚焦光脉冲信号；信号处理单元用于基于主瓣压缩的时域超振荡聚焦光脉冲信号对待检测目标进行扫描，获得扫描结果。本申请通过时间透镜单元对连续激光信号施加复合时间相位调制和色散传播，生成主瓣压缩的时域超振荡聚焦光脉冲信号，从而实现在有限电子带宽与有限驱动能力条件下进一步缩短时间聚焦脉冲宽度，提升时间透镜分辨率。

本发明属于压电致动器迟滞建模技术领域，具体公开了一种基于门控分支递归神经网络的压电致动器迟滞建模方法，包括：获取当前时刻和上一时刻的驱动电压；利用训练好的门控分支递归神经网络进行处理，得到压电致动器在当前时刻的输出力预测值。该门控分支递归神经网络通过加载与卸载双分支提取差异化迟滞特征，基于电压变化率的方向门控动态融合双分支特征，经Elman与GRU级联提取多尺度时序记忆后残差融合，再映射为输出力预测值。本发明通过双分支物理解耦与多尺度时序记忆协同，实现了压电致动器强非对称率相关迟滞的高精度建模。

本申请公开了一种基于可靠性感知与协同平滑的无监督视频拼接方法，涉及计算机视觉技术领域。在该方法中引入了可靠性先验模块，在空间上通过抑制干扰并结合注意力聚焦刚性纹理，在时间上过滤离群点以增强轨迹鲁棒性，形成先过滤后增强的特征感知体系；设计了跨视角协同平滑网络，利用时空交叉注意力机制促进双视图间的积极协商与交互，抑制由于局部强制对齐产生的非物理网格形变。本申请在未引入标注数据的情况下，能够有效消除拼接伪影，在保持网络推理效率的同时，显著降低了视频的几何失真率并提升了对齐精度与时空稳定性。

本申请提供一种超分辨成像方法、装置及电子设备，其中，该方法包括：获取低分辨率高光谱图像；对所述低分辨率高光谱图像进行非线性初始化，得到光谱响应矩阵；对所述低分辨率高光谱图像进行光谱退化估计，得到光谱退化估计后的数据；分别对所述光谱响应矩阵和所述光谱退化估计后的数据在空间维度上进行分块，得到对应的多个矩阵块；将多个所述矩阵块进行重构，得到目标高分辨率高光谱图像。实施本申请，可以在无精确先验信息的条件下，高效地融合低分辨率高光谱图像与高分辨率低光谱图像生成高质量的高分辨率低光谱图像，优化计算效率，精准捕捉图像的非线性特征，实现稳定、高效、优化的求解过程。满足多种使用需求。

本申请提供一种信息传输方法、信息解密方法及电磁调控结构功能表面，涉及信息安全与电磁调控技术领域。该方法应用于发送端，包括：对待传输信息进行加密，生成加密信息；按预设映射规则，将加密信息映射为多维电磁状态编码；其中，多维电磁状态编码表征电磁波的物理特征编码序列；利用多维电磁状态编码，通过电磁调控结构功能表面，对入射载波进行多维调制，生成调制信号；其中，调制信号用于对加密信息进行传输。本申请通过将待传输信息加密伪装后，映射为多个相互独立的电磁波维度的物理特征编码序列作为电磁状态编码，并利用电磁状态编码对入射载波进行多维调制，生成调制信号进行传输，提高信息传输的安全性。